流化床法顆粒硅 氫含量的測定 脈沖加熱惰性氣體熔融紅外吸收法 即將實施
Granular polysilicon produced by fluidized bed method—Determination of hydrogen—Pulse heating inert gas fusion infrared absorption method
標準號：GB/T 40566-2021
基本信息
標準號：GB/T 40566-2021
發布時間：2021-10-11
實施時間：2022-05-01
首發日期：
出版單位：中國標準出版社查看詳情>
起草人：何莉、楊君、王美娟、蔣威、丁彬斌、鮑軍、劉曉霞、魯文鋒、王旭輝、王彬、王趕強、梁洪、楚東旭、邱艷梅、馬昀鋒、黃國平、王桃霞、薛小強、羅海燕、馬沖先、何永強
出版機構：中國標準出版社
標準分類： 元素半導體材料
ICS分類：半導體材料
提出單位：全國半導體設備和材料標準化技術委員會(SAC/TC 203)
起草單位：無錫市產品質量監督檢驗院、上海賽夫特半導體材料有限公司、青海黃河上游水電開發有限責任公司光伏產業技術分公司、江蘇中能硅業科技發展有限公司、新疆新特新能材料檢測中心有限公司、無錫市分析測試學會、中國電子技術標準化研究院、無錫市計量測試院等
歸口單位：全國半導體設備和材料標準化技術委員會(SAC/TC 203)
發布部門：國家市場監督管理總局 國家標準化管理委員會
標準簡介
本文件描述了用脈沖加熱惰性氣體熔融紅外吸收法測定顆粒硅中氫含量的方法。本文件適用于流化床法顆粒硅中氫含量的測定，其他硅材料參照使用。注： 本文件測定氫含量的范圍取決于所用氫分析儀的量程，最大測定范圍為氫量0.000 08 mg～2.5 mg。以質量分數（%）表示的氫分析儀的測定范圍因稱取樣品量的不同而不同。例如，1 g樣品最大測定范圍的質量分數為0.000 008%～0.25%；0.15 g樣品最大測定范圍的質量分數為0.000 06%～1.66%。
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