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標(biāo)準(zhǔn)號:GB/T 26307-2010
基本信息
標(biāo)準(zhǔn)號:GB/T 26307-2010
發(fā)布時間:2011-01-14
實施時間:2011-11-01
首發(fā)日期:2011-01-14
出版單位:中國標(biāo)準(zhǔn)出版社查看詳情>
起草人:閆琳、楊華、李蕊、楊永剛、雷繼鋒、熊曉東、江軒
出版機構(gòu):中國標(biāo)準(zhǔn)出版社
標(biāo)準(zhǔn)分類: 貴金屬及其合金
ICS分類:其他有色金屬及其合金
起草單位:北京有研億金新材料股份有限公司
歸口單位:全國有色金屬標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(SAC/TC 243)
發(fā)布部門:中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫總局 中國國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會
主管部門:全國有色金屬標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(SAC/TC 243)
標(biāo)準(zhǔn)簡介
本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了銀靶的要求、試驗方法、檢驗規(guī)則和標(biāo)志、包裝、運輸、貯存及質(zhì)量證明書與訂貨單(或合同)內(nèi)容。本標(biāo)準(zhǔn)適用于半導(dǎo)體器件用的各類銀濺射靶材(以下簡稱銀靶)。其他用途的靶材也可參照使用。
標(biāo)準(zhǔn)摘要
本標(biāo)準(zhǔn)由全國有色金屬標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(SAC/TC243)歸口。 本標(biāo)準(zhǔn)由北京有研億金新材料股份有限公司負責(zé)起草。 本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人:閆琳、楊華、李蕊、楊永剛、雷繼鋒、熊曉東、江軒。 |
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