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半導體器件 微機電器件 MEMS總規范 現行

Semiconductor devices—Micro-electromechanical devices—Generic specification for MEMS

標準號：GB/T 32817-2016

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基本信息

標準號：GB/T 32817-2016
發布時間：2016-08-29
實施時間：2017-03-01
首發日期：
出版單位：中國標準出版社查看詳情>
起草人：李海斌、崔波、劉偉、石云波、裘安萍、施芹、楊擁軍、劉沖
出版機構：中國標準出版社
標準分類： 微電路綜合
ICS分類：其他半導體器件
提出單位：全國微機電技術標準化技術委員會(SAC/TC 336)
起草單位：中機生產力促進中心、中國電子科技集團公司第十三研究所、中北大學、南京理工大學、大連理工大學
歸口單位：全國微機電技術標準化技術委員會(SAC/TC 336)
發布部門：中華人民共和國國家質量監督檢驗檢疫總局 中國國家標準化管理委員會
主管部門：國家標準化管理委員會

標準簡介

本標準描述了用半導體制造的微機電系統（MEMS）的總規范，規定了用于IECQ-CECC體系質量評定的一般規程，給出了電、光、機械和環境特性的描述和測試的總則。本標準適用于各類MEMS器件[如傳感器、射頻MEMS，但不包括光MEMS、生物MEMS、微全分析系統（Micro-TAS）和微能源MEMS]。

替代情況

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引用標準

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采標情況

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