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氣體質(zhì)量流量控制器通用技術(shù)條件

General specification for gas mass flow controller
標(biāo)準(zhǔn)號(hào):SJ/T 10583-1994
基本信息
標(biāo)準(zhǔn)號(hào):SJ/T 10583-1994
發(fā)布時(shí)間:1994-08-08
實(shí)施時(shí)間:1994-12-01
首發(fā)日期:
起草人:龔光祥、劉學(xué)儉、錢祖權(quán)
作廢日期:2016-09-01
標(biāo)準(zhǔn)分類: 檢驗(yàn)裝用設(shè)備
提出單位:中華人民共和國(guó)電子工業(yè)部
起草單位:北京建中機(jī)器廠
歸口單位:電子工業(yè)部標(biāo)準(zhǔn)化研究所
發(fā)布部門:中華人民共和國(guó)電子工業(yè)部
標(biāo)準(zhǔn)簡(jiǎn)介
本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了氣體質(zhì)量流量控制器的技術(shù)要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則及標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸、貯存。本標(biāo)準(zhǔn)適用于采用毛細(xì)管傳熱溫差量熱法原理進(jìn)行測(cè)量的氣體質(zhì)量流量控制器(以下簡(jiǎn)稱控制器)。該控制器廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體集成電路工藝設(shè)備、光纖熔煉,以及化工、冶金、衛(wèi)生等部門。
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