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電子工業(yè)用氣體 氦 現(xiàn)行

Gas for electronic industry—Helium

標準號：GB/T 16943-2009

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基本信息

標準號：GB/T 16943-2009
發(fā)布時間：2009-10-30
實施時間：2010-05-01
首發(fā)日期：1997-08-13
出版單位：中國標準出版社查看詳情>
起草人：劉澤軍、付永成、趙俊秀、周鵬云
出版機構：中國標準出版社
標準分類： 工業(yè)氣體與化學氣體
ICS分類：工業(yè)氣體
提出單位：全國半導體材料和設備標準化技術委員會
起草單位：西南油氣田分公司成都天然氣化工總廠、北京氦普北分氣體工業(yè)有限公司、西南化工研究設計院
歸口單位：全國半導體材料和設備標準化技術委員會氣體分會
發(fā)布部門：中華人民共和國國家質量監(jiān)督檢驗檢疫總局 中國國家標準化管理委員會
主管部門：國家標準化管理委員會

標準簡介

本標準規(guī)定了氦的技術要求,試驗方法以及包裝、標志、貯運及安全。本標準適用于以深冷法從天然氣、空氣和工廠弛放氣中提取的氣態(tài)和液態(tài)氦,以及經(jīng)純化方法得到的氦。它們在半導體制造中用作清洗氣、加壓氣,也用作載氣和保護氣等。

標準摘要

本標準代替GB/T16943-1997《電子工業(yè)用氣體 氦》。
本標準與GB/T16943-1997相比主要變化如下:
---修改氦的適用范圍(GB/T16943-1997的第1章,本版的第1章);
---修改規(guī)范性引用文件(GB/T16943-1997的第2章,本版的第2章);
---修改技術指標內容:增加一類產(chǎn)品純度和雜質含量(GB/T16943-1997 的第3 章,本版的第3章);
---修改瓶裝氦抽樣方法(GB/T16943-1997的4.1,本版的4.1.1);
---增加集裝閣裝、大容積鋼質無縫氣瓶裝和杜瓦罐裝氦產(chǎn)品并規(guī)定檢驗方法(見4.1.1);
---增加管道輸送的氦產(chǎn)品并規(guī)定檢驗方法(見4.1.2);
---增加氦的采樣安全要求(見4.1.3);
---增加新的分析方法:增加用氦放電離子化氣相色譜法測定氦中的氧、一氧化碳和二氧化碳組分;增加其他方法測定總烴含量;當出現(xiàn)多種分析方法時,增加規(guī)定仲裁方法(見4.3);
---修改水分的測定方法(GB/T16945-1997的4.5,本版的4.5);
---修改標志、包裝、貯運及安全(GB/T16943-1997的第5章,本版的第5章);
---增加安全要求(見5.6);
---增加規(guī)范性附錄A,并把采用氦離子化氣相色譜法測定氦中的氧、氮、一氧化碳和二氧化碳組
分的方法寫入該附錄(見附錄A)。
本標準的附錄A 為規(guī)范性附錄。
本標準由全國半導體材料和設備標準化技術委員會提出。
本標準由全國半導體材料和設備標準化技術委員會氣體分會歸口。
本標準起草單位:西南油氣田分公司成都天然氣化工總廠、北京氦普北分氣體工業(yè)有限公司、西南化工研究設計院。
本標準主要起草人:劉澤軍、付永成、趙俊秀、周鵬云。
本標準所代替標準的歷次版本發(fā)布情況為:
---GB/T16943-1997。

替代情況

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引用標準

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采標情況

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