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硅單晶拋光片已作廢

Monocrystalline silicon polished wafers

標準號：GB/T 12964-1996

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基本信息

標準號：GB/T 12964-1996

發布時間：1996-11-04

實施時間：1997-04-01

首發日期：

起草人：

作廢日期：2004-01-01

標準分類：元素半導體材料

ICS分類：半導體材料

標準簡介

替代情況

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引用標準

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采標情況

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