光伏電池用硅材料中P、As、Sb施主雜質(zhì)含量的二次離子質(zhì)譜測(cè)量方法 現(xiàn)行
Test method for measuring phosphorus,arsenic and antimony in silicon materials used for photovoltaic applications by secondary ion mass spectrometry
標(biāo)準(zhǔn)號(hào)：GB/T 29852-2013
基本信息
標(biāo)準(zhǔn)號(hào)：GB/T 29852-2013
發(fā)布時(shí)間：2013-11-12
實(shí)施時(shí)間：2014-04-15
首發(fā)日期：
出版單位：中國(guó)標(biāo)準(zhǔn)出版社查看詳情>
起草人：馬農(nóng)農(nóng)、何友琴、王東雪、何秀坤、馮亞彬、裴會(huì)川、張雪囡
出版機(jī)構(gòu)：中國(guó)標(biāo)準(zhǔn)出版社
標(biāo)準(zhǔn)分類(lèi)： 元素半導(dǎo)體材料
ICS分類(lèi)：半導(dǎo)體材料
提出單位：全國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)(SAC/TC203)
起草單位：信息產(chǎn)業(yè)專(zhuān)用材料質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)中心、中國(guó)電子技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化研究院、國(guó)家電子功能與輔助材料質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)中心、天津市環(huán)歐半導(dǎo)體材料技術(shù)有限公司
歸口單位：全國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)(SAC/TC 203)
發(fā)布部門(mén)：中華人民共和國(guó)國(guó)家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局 中國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)
主管部門(mén)：全國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)(SAC/TC 203)
標(biāo)準(zhǔn)簡(jiǎn)介
本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了用二次離子質(zhì)譜儀(SIMS)測(cè)定光伏電池用硅材料中磷、砷和銻含量的方法。本標(biāo)準(zhǔn)適用于光伏電池用硅材料中施主雜質(zhì)磷、砷和銻含量的定量分析,其中磷、砷和銻的濃度均大于1×1014atoms/cm3。
標(biāo)準(zhǔn)摘要
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本標(biāo)準(zhǔn)按照GB/T1.1—2009給出的規(guī)則起草。 請(qǐng)注意本文件的某些內(nèi)容可能涉及專(zhuān)利。本文件的發(fā)布機(jī)構(gòu)不承擔(dān)識(shí)別這些專(zhuān)利的責(zé)任。 本標(biāo)準(zhǔn)由全國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)(SAC/TC203)提出并歸口。 本標(biāo)準(zhǔn)起草單位:信息產(chǎn)業(yè)專(zhuān)用材料質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)中心、中國(guó)電子技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化研究院、國(guó)家電子功能與輔助材料質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)中心、天津市環(huán)歐半導(dǎo)體材料技術(shù)有限公司。 本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人:馬農(nóng)農(nóng)、何友琴、王東雪、何秀坤、馮亞彬、裴會(huì)川、張雪囡。 |
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