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砷化鎵外延層厚度紅外干涉測量方法
砷化鎵外延層厚度紅外干涉測量方法 現行
Measuring thickness of epitaxial layers of gallium arsenide by infrared interference
標準號：GB/T 8758-2006
基本信息
標準號：GB/T 8758-2006
發布時間：2006-07-18
實施時間：2006-11-01
首發日期：1988-02-25
出版單位：中國標準出版社查看詳情>
起草人：王彤涵
出版機構：中國標準出版社
標準分類： 金屬物理性能試驗方法
ICS分類：金屬材料化學分析
提出單位：中國有色金屬工業協會
起草單位：北京有色金屬研究總院
歸口單位：中國有色金屬工業協會
發布部門：中華人民共和國國家質量監督檢驗檢疫總局 中國國家標準化管理委員會
主管部門：中國有色金屬工業協會
標準簡介
本標準適用于砷化鎵外延層厚度的測量，測量厚度大于2μm。要求襯底材料的電阻率小于0.02Ω·cm，外延層的電阻率大于0.1Ω·cm。
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