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微束分析 掃描電子顯微術 術語 現(xiàn)行

Microbeam analysis - Scanning electron microscopy - Vocabulary

標準號：GB/T 23414-2009

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基本信息

標準號：GB/T 23414-2009
發(fā)布時間：2009-04-01
實施時間：2009-12-01
首發(fā)日期：2009-04-01
出版單位：中國標準出版社查看詳情>
起草人：李香庭、曾毅
出版機構：中國標準出版社
標準分類： 電子光學與其他物理光學儀器
ICS分類：  01.040.37:37.020
提出單位：全國微束分析標準化技術委員會
起草單位：中國科學院上海硅酸鹽研究所
歸口單位：全國微束分析標準化技術委員會
發(fā)布部門：國家標準化管理委員會
主管部門：國家標準化管理委員會

標準簡介

本標準定義了掃描電子顯微術(SEM)實踐中使用的術語。包括一般術語和按技術分類的具體概念的術語,也包括已經(jīng)在ISO23833中定義的術語。本標準適用于所有有關SEM 實踐的標準化文件。另外,本標準的某些術語定義,也適用于相關領域的文件〔例如:電子探針顯微分析(EPMA)、分析電子顯微術(AEM)、能譜法(EDX)等〕。

標準摘要

本標準等同采用國際標準ISO22493:2008《微束分析 掃描電子顯微術 術語》(英文版)。
為了便于使用,本標準做了下列編輯性修改:
---本國際標準一詞改為本標準;
---刪除國際標準的前言。
---掃描電子顯微鏡簡稱掃描電鏡。
---增加了中文索引。
本標準由全國微束分析標準化技術委員會提出并歸口。
本標準起草單位:中國科學院上海硅酸鹽研究所。
本標準主要起草人:李香庭、曾毅。

標準目錄

前言Ⅰ
引言Ⅱ
1 范圍1
2 縮略語1
3 SEM 物理基礎術語1
4 SEM 儀器術語5
5 SEM 成像和圖像處理術語10
6 SEM 圖像詮釋和分析術語14
7 SEM 圖像放大倍率和分辨率校正及測量術語16
參考文獻18
中文索引19
英文索引22

替代情況

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引用標準

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本標準相關公告

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采標情況

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