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電子工業(yè)用氣體 氫 現(xiàn)行

Gas for electronic industry—Hydrogen

標(biāo)準(zhǔn)號(hào)：GB/T 16942-2009

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基本信息

標(biāo)準(zhǔn)號(hào)：GB/T 16942-2009
發(fā)布時(shí)間：2009-10-30
實(shí)施時(shí)間：2010-05-01
首發(fā)日期：1997-08-13
出版單位：中國(guó)標(biāo)準(zhǔn)出版社查看詳情>
起草人：周澤義、周鵬云
出版機(jī)構(gòu)：中國(guó)標(biāo)準(zhǔn)出版社
標(biāo)準(zhǔn)分類(lèi)： 工業(yè)氣體與化學(xué)氣體
ICS分類(lèi)：工業(yè)氣體
提出單位：全國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)
起草單位：中國(guó)計(jì)量科學(xué)研究院、西南化工研究設(shè)計(jì)院
歸口單位：全國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)氣體分技術(shù)委員會(huì)
發(fā)布部門(mén)：中華人民共和國(guó)國(guó)家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局 中國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)
主管部門(mén)：國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)

標(biāo)準(zhǔn)簡(jiǎn)介

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了電子工業(yè)用氫的技術(shù)要求,試驗(yàn)方法以及包裝、標(biāo)志、貯運(yùn)及安全。本標(biāo)準(zhǔn)適用于以氫氣為原料經(jīng)凈化制取的瓶裝、集裝格裝和管道輸送的電子工業(yè)用氫氣。它們主要被用來(lái)提供還原氣氛,作為外延工藝的載氣以及等離子體蝕刻劑的配氣原料。

標(biāo)準(zhǔn)摘要

本標(biāo)準(zhǔn)代替GB/T16942-1997《電子工業(yè)用氣體 氫》。
本標(biāo)準(zhǔn)與GB/T16942-1997相比主要變化如下:
---修改電子工業(yè)用氫的適用范圍(GB/T16942-1997的第1章,本版的第1章);
---修改規(guī)范性引用文件(GB/T16942-1997的第2章,本版的第2章);
---修改技術(shù)指標(biāo)內(nèi)容(GB/T16942-1997 的第3章,本版的第3章);
---修改電子工業(yè)用氫抽樣規(guī)則(GB/T16942-1997的4.1,本版的4.1.1、4.1.2);
---修改電子工業(yè)用氫采樣要求(GB/T16942-1997的4.2,本版的4.1.3);
---修改氮、一氧化碳、二氧化碳含量的分析方法(16942-1997的4.4、4.6,本版的4.3);
---修改總烴分析方法的檢測(cè)限(16942-1997的4.7,本版的4.5);
---修改水分含量的分析方法(16942-1997的4.8,本版的4.7);
---修改標(biāo)志、包裝、貯運(yùn)及安全(GB/T16942-1997的第5章,本版的第5章);
---增加規(guī)范性附錄A,并把采用氦離子化氣相色譜法測(cè)定電子工業(yè)用氫中的氮、一氧化碳、二氧
化碳組分的方法寫(xiě)入該附錄(見(jiàn)附錄A)。
本標(biāo)準(zhǔn)的附錄A 為規(guī)范性附錄。
本標(biāo)準(zhǔn)由全國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)提出。
本標(biāo)準(zhǔn)由全國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)氣體分技術(shù)委員會(huì)歸口。
本標(biāo)準(zhǔn)起草單位:中國(guó)計(jì)量科學(xué)研究院、西南化工研究設(shè)計(jì)院。
本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人:周澤義、周鵬云。
本標(biāo)準(zhǔn)所代替標(biāo)準(zhǔn)的歷次版本發(fā)布情況為:
---GB/T16942-1997。

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