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電子級水中二氧化硅的分光光度測試方法
電子級水中二氧化硅的分光光度測試方法 已作廢
Test method for SiO2 in electronic grade water by spectrophotometer
標準號：GB/T 11446.6-1997
基本信息
標準號：GB/T 11446.6-1997
發布時間：1997-09-01
實施時間：1998-09-01
首發日期：1989-06-22
起草人：
作廢日期：2014-08-15
標準分類： 電子技術專用材料
ICS分類：
31.030
起草單位：北京半導體器件三廠
歸口單位：信息產業部（電子）
發布部門：信息產業部（電子）
主管部門：信息產業部（電子）
標準簡介
本標準規定了電子級水是二氧化硅的分光光度測定方法。本標準適用于電子級水中二氧化硅的測定，分析下限為1μg/L。
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