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微米級長度的掃描電鏡測量方法
微米級長度的掃描電鏡測量方法 已作廢
Micron grade lenght measurement by SEM
標準號：GB/T 16594-1996
基本信息
標準號：GB/T 16594-1996
發布時間：1996-01-01
實施時間：1997-04-01
首發日期：1996-11-04
出版單位：中國標準出版社查看詳情>
起草人：
作廢日期：2009-05-01
出版機構：中國標準出版社
標準分類： 電子光學與其他物理光學儀器
ICS分類：長度和角度測量綜合
起草單位：上海市測試技術研究所
歸口單位：全國微束分析標準化技術委員會
發布部門：國家技術監督局
主管部門：國家標準化管理委員會
標準簡介
本標準規定了用掃描電鏡測量微米級長度的方法，適用于測量0.5～10μm的長度，也適用于電子探針分析儀測量微米級長度。
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