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氯硅烷組分含量的測定 氣相色譜法
基本信息
標準號：YS/T 1392-2020
發布時間：2020-12-09
實施時間：2021-04-01
首發日期：
出版單位：冶金工業出版社查看詳情>
起草人：
出版機構：冶金工業出版社
發布部門：中華人民共和國工業和信息化部
標準簡介
本標準規定了氣相色譜法測定多晶硅生產用氯硅烷中各組分含量的方法。本標準適用于多晶硅生產用氯硅烷中各組分含量的測定。測定范圍（體積分數）：二氯二氫硅為0.01 %～20 %，三氯氫硅、四氯化硅為0.01 %～100 %。
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