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電子工業用氣體 磷化氫 現行

Gas for electronic industry—Phosphine

標準號：GB/T 14851-2009

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基本信息

標準號：GB/T 14851-2009
發布時間：2009-10-30
實施時間：2010-05-01
首發日期：1993-12-30
出版單位：中國標準出版社查看詳情>
起草人：周澤義、孫福楠、周鵬云
出版機構：中國標準出版社
標準分類： 工業氣體與化學氣體
ICS分類：工業氣體
提出單位：全國半導體設備和材料標準化技術委員會
起草單位：中國計量科學研究院、西南化工研究設計院、大連光明化工研究院
歸口單位：全國半導體設備和材料標準化技術委員會氣體分技術委員會
發布部門：中華人民共和國國家質量監督檢驗檢疫總局 中國國家標準化管理委員會
主管部門：全國半導體設備和材料標準化技術委員會

標準簡介

本標準規定了電子工業用磷化氫的技術要求,試驗方法以及包裝、標志、貯運及安全。本標準適用于亞磷酸熱分解、磷化物水解、單質磷與水或堿反應等方法獲得并經精制得到的磷化氫產品。它主要用于半導體器件和集成電路生產的外延、離子注入和摻雜。

標準摘要

本標準代替GB/T14851-1993《電子工業用氣體 磷化氫》。
本標準與GB/T14851-1993相比主要變化如下:
---修改規范性引用文件(GB/T14851-1993的第2章,本版的第2章);
---修改技術指標內容(GB/T14851-1993的第3章,本版的第3章);
---增加電子工業用磷化氫采樣安全要求(本版的4.1.2);
---增加尾氣處理的要求(本版的4.3);
---修改砷化氫、氮、氧(氬)組分的分析方法(GB/T14851-1993的4.2、4.5、4.6,本版的4.3);
---刪去氫的分析方法(GB/T14851-1993的4.4);
---修改二氧化碳、總烴含量的分析方法(GB/T14851-1993的4.3,本版的4.5、4.6);
---增加一氧化碳的分析方法(見4.5);
---增加標準樣品的規定(見4.7);
---修改水分的分析方法(GB/T14851-1993的4.7,本版的4.8);
---修改標志、包裝、貯運及安全(GB/T14851-1993的第6章、第7章,本版的第5章);
---刪去GB/T14851-1993的附錄A;
---增加規范性附錄A,并把采用氦離子化氣相色譜法測定電子工業用磷化氫中的砷化氫、氮、氧(氬)組分的方法寫入該附錄(見附錄A)。
本標準的附錄A 為規范性附錄。
本標準由全國半導體設備和材料標準化技術委員會提出。
本標準由全國半導體設備和材料標準化技術委員會氣體分技術委員會歸口。
本標準起草單位:中國計量科學研究院、西南化工研究設計院、大連光明化工研究院。
本標準主要起草人:周澤義、孫福楠、周鵬云。
本標準所代替標準的歷次版本發布情況為:
---GB/T14851-1993。

替代情況

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引用標準

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本標準相關公告

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采標情況

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