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鉑靶 現行

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標準號:YS/T 791-2012

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基本信息

標準號:YS/T 791-2012
發布時間:2012-11-07
實施時間:2013-03-01
首發日期:
出版單位:中國標準出版社查看詳情>
起草人:王永輝、朱曉光、楊永剛、楊華、程軼歐、雷繼鋒、熊曉東、江軒
出版機構:中國標準出版社
標準分類: 貴金屬及其合金
ICS分類:其他有色金屬及其合金
起草單位:有研億金新材料股份有限公司
歸口單位:全國有色金屬標準化技術委員會(SAC/TC 243)
發布部門:中華人民共和國工業和信息化部
主管部門:全國有色金屬標準化技術委員會(SAC/TC 243)

標準簡介

本標準規定了鉑靶的要求、試驗方法、檢驗規則和標志、包裝、運輸、貯存及合同或訂貨單。本標準適用于半導體器件用的各類鉑濺射靶材,其他用途的鉑靶材也可參照使用。

標準摘要

本標準按照GB/T1.1—2009給出的規則起草。
本標準由全國有色金屬標準化技術委員會(SAC/TC243)歸口。
本標準由有研億金新材料股份有限公司負責起草。
本標準主要起草人:王永輝、朱曉光、楊永剛、楊華、程軼歐、雷繼鋒、熊曉東、江軒。

替代情況

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引用標準

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本標準相關公告

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采標情況

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