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微機電系統（MEMS）技術 MEMS結構共振疲勞試驗方法 現行

Micro-electromechanical system technology—Fatigue testing method of MEMS structure using resonant vibration

標準號：GB/T 38447-2020

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基本信息

標準號：GB/T 38447-2020
發布時間：2020-03-06
實施時間：2020-07-01
首發日期：
起草人：張威、張亞婷、于振毅、陸學貴、朱悅、石云波、李海斌、程逸軒、周浩楠、陳得民。
起草單位：北京大學、中機生產力促進中心、北京智芯傳感科技有限公司、沈陽國儀檢測技術有限公司、浙江博亞精密機械有限公司、中北大學、北京必創科技股份有限公司。
歸口單位：全國微機電技術標準化技術委員會
主管部門：國家標準化管理委員會

標準簡介

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