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半導體器件擴散爐 能耗分等
基本信息
標準號：JB/T 5630-1991
發布時間：1991-09-13
實施時間：1992-07-01
首發日期：
出版單位：機械工業出版社查看詳情>
起草人：錢祖權、黃淑敏
作廢日期：2017-05-12
出版機構：機械工業出版社
標準分類： 技術管理
提出單位：機械電子工業部生產司
起草單位：國營七○○廠
歸口單位：機械電子工業部機械標準化研究所
發布部門：機械電子工業部
標準簡介
本標準規定了半導體器件擴散爐（以下簡稱擴散爐）能耗分等。本標準適用于電子工業企業半導體器件制造過程中用作各種擴散、氧化、退火和合金工藝以及對其他材料進行特殊處理的擴散爐。
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