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硅單晶切割片和研磨片 現行

標準號：YB 1603-1983

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基本信息

標準號：YB 1603-1983
發布時間：1983-08-18
實施時間：1984-10-01
首發日期：
出版單位：中國標準出版社查看詳情>
起草人：
出版機構：中國標準出版社
發布部門：中華人民共和國冶金工業部

標準簡介

本標準適用于制造半導體器件（分立器件和集成電路）的三種等直徑硅單晶切割片和雙面研磨片。用作其他器件的硅單晶切割片和研磨片，可參照本標準確定其相應的技術參數。

替代情況

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引用標準

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采標情況

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