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硅片抗彎強度測試方法
硅片抗彎強度測試方法 已作廢
Test method for measuring flexure strength of silicon slices
標準號：GB/T 15615-1995
基本信息
標準號：GB/T 15615-1995
發布時間：1995-07-12
實施時間：1996-02-01
首發日期：1995-07-12
起草人：
作廢日期：2005-10-14
標準分類： 金屬工藝性能試驗方法
ICS分類：金屬材料試驗綜合
起草單位：中南工業大學
歸口單位：全國半導體材料和設備標準化技術委員會
發布部門：國家技術監督局
主管部門：國家標準化管理委員會
標準簡介
本標準規定了硅單晶切割片、研磨片和拋光片的抗彎強度測試方法。本標準適用于晶向為〈111〉和〈100〉的直拉、懸浮區熔硅單晶片的常溫下抗彎強度的測量。硅片厚度為250～900μm。
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