化學氣相沉積爐 現行
Chemical vapor deposition furnace
標準號：YS/T 1031-2015
基本信息
標準號：YS/T 1031-2015
發布時間：2015-04-30
實施時間：2015-10-01
首發日期：
出版單位：中國標準出版社查看詳情>
起草人：戴煜、胡祥龍、胡高健、羊建高、馬衛東、戴曉蕾、周岳兵、吳艷華
出版機構：中國標準出版社
標準分類： 煉焦、煉結設備
ICS分類：冶金設備
提出單位：全國有色金屬標準化技術委員會(SAC/TC 243)
起草單位：湖南頂立科技有限公司、中國有色金屬工業標準計量質量研究所
歸口單位：全國有色金屬標準化技術委員會(SAC/TC 243)
發布部門：中華人民共和國工業和信息化部
主管部門：全國有色金屬標準化技術委員會(SAC/TC 243)
標準簡介
本標準規定了化學氣相沉積爐的要求、試驗方法、檢驗規則及標志、包裝、運輸、貯存、質量證明書和合同（或訂貨單）內容。本標準適用于化學氣相沉積。
標準摘要
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本標準按照GB/T1.1—2009給出的規則起草。 本標準由全國有色金屬標準化技術委員會(SAC/TC243)提出并歸口。 本標準起草單位:湖南頂立科技有限公司、中國有色金屬工業標準計量質量研究所。 本標準主要起草人:戴煜、胡祥龍、胡高健、羊建高、馬衛東、戴曉蕾、周岳兵、吳艷華。 |
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