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藍(lán)寶石單晶位錯密度測量方法

Test method for dislocation density of sapphire single crystal
標(biāo)準(zhǔn)號:GB/T 33763-2017
基本信息
標(biāo)準(zhǔn)號:GB/T 33763-2017
發(fā)布時間:2017-05-31
實施時間:2017-12-01
首發(fā)日期:
出版單位:中國標(biāo)準(zhǔn)出版社查看詳情>
起草人:薛抗美、黃修康、杭寅、尹繼剛、田野、張永波、張毅
出版機(jī)構(gòu):中國標(biāo)準(zhǔn)出版社
標(biāo)準(zhǔn)分類: 金屬化學(xué)性能試驗方法
ICS分類:金屬材料試驗
提出單位:全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(SAC/TC 203)、全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會材料分會(SAC/TC 203/SC 2)
起草單位:江蘇協(xié)鑫軟控設(shè)備科技發(fā)展有限公司、中國科學(xué)院上海光學(xué)精密機(jī)械研究所、深圳市中安測標(biāo)準(zhǔn)技術(shù)有限公司
歸口單位:全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(SAC/TC 203)、全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會材料分會(SAC/TC 203/SC 2)
發(fā)布部門:中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫總局 中國國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會
主管部門:國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會
標(biāo)準(zhǔn)簡介
本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了藍(lán)寶石單晶位錯密度的測量方法。? 本標(biāo)準(zhǔn)適用于拋光加工后位錯密度為0個/cm2~100 000個/cm2的藍(lán)寶石單晶位錯密度的測量,檢測面為{0001}、{1120}、{1012}、{1010}面。
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