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藍寶石襯底片彎曲度測試方法

Test methods for bow of sapphire substrates
標準號:GB/T 31353-2014
基本信息
標準號:GB/T 31353-2014
發布時間:2014-12-31
實施時間:2015-09-01
首發日期:
出版單位:中國標準出版社查看詳情>
起草人:薛抗美、魏明德、黃修康、杭寅、林清香、肖宗杰
出版機構:中國標準出版社
標準分類: 金屬物理性能試驗方法
ICS分類:金屬材料的其他試驗方法
提出單位:全國半導體設備和材料標準化技術委員會(SAC/TC203)和全國半導體設備和材料標準化技術委員會材料分會(SAC/TC203/SC2)
起草單位:江蘇協鑫軟控設備科技發展有限公司、中國科學院上海光學精密機械研究所、北京合能陽光新能源技術有限公司
歸口單位:全國半導體設備和材料標準化技術委員會(SAC/TC203)和全國半導體設備和材料標準化技術委員會材料分會(SAC/TC203/SC2)
發布部門:中華人民共和國國家質量監督檢驗檢疫總局 中國國家標準化管理委員會
主管部門:國家標準化管理委員會
標準簡介
本標準規定了藍寶石切割片、研磨片、拋光片(以下簡稱藍寶石襯底片)彎曲度的測試方法。本標準適用于直徑50.8mm~304.8mm,厚度為不小于200μm 的藍寶石襯底片彎曲度的測試。
標準摘要
本標準按照 GB/T1.1—2009給出的規則起草。 請注意本文件的某些內容可能涉及專利。本文件的發布機構不承擔識別這些專利的責任。 本標準由全國半導體設備和材料標準化技術委員會(SAC/TC203)和全國半導體設備和材料標準化技術委員會材料分會(SAC/TC203/SC2)共同提出并歸口。 本標準起草單位:江蘇協鑫軟控設備科技發展有限公司、中國科學院上海光學精密機械研究所、北京合能陽光新能源技術有限公司。 本標準主要起草人:薛抗美、魏明德、黃修康、杭寅、林清香、肖宗杰 |
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