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電子工業(yè)用氣體 氧化亞氮 現(xiàn)行

Gas for electronic industry—Nitrous Oxide

標(biāo)準(zhǔn)號(hào)：GB/T 14600-2009

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基本信息

標(biāo)準(zhǔn)號(hào)：GB/T 14600-2009
發(fā)布時(shí)間：2009-10-30
實(shí)施時(shí)間：2010-05-01
首發(fā)日期：1993-08-26
出版單位：中國(guó)標(biāo)準(zhǔn)出版社查看詳情>
起草人：周澤義、孫福楠、周鵬云
出版機(jī)構(gòu)：中國(guó)標(biāo)準(zhǔn)出版社
標(biāo)準(zhǔn)分類： 工業(yè)氣體與化學(xué)氣體
ICS分類：工業(yè)氣體
提出單位：全國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)
起草單位：中國(guó)計(jì)量科學(xué)研究院、西南化工研究設(shè)計(jì)院、大連光明化工研究院
歸口單位：全國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)氣體分技術(shù)委員會(huì)
發(fā)布部門：中華人民共和國(guó)國(guó)家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局 中國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)
主管部門：全國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)

標(biāo)準(zhǔn)簡(jiǎn)介

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了氧化亞氮的技術(shù)要求,試驗(yàn)方法以及包裝、標(biāo)志、貯運(yùn)及安全。本標(biāo)準(zhǔn)適用于電子工業(yè)中化學(xué)氣相淀積工藝。

標(biāo)準(zhǔn)摘要

本標(biāo)準(zhǔn)代替GB/T14600-1993《電子工業(yè)用氣體 氧化亞氮》。
本標(biāo)準(zhǔn)與GB/T14600-1993相比主要變化如下:
---修改電子工業(yè)用氧化亞氮的適用范圍(GB/T14600-1993的第1章,本版的第1章);
---修改規(guī)范性引用文件(GB/T14600-1993的第2章,本版的第2章);
---修改技術(shù)指標(biāo)內(nèi)容(GB/T14600-1993的第3章,本版的第3章);
---增加電子工業(yè)用氧化亞氮采樣安全要求(見4.1.2);
---增加尾氣處理的要求(見4.3);
---修改一氧化碳、二氧化碳、烴C1~C5、氮、氧含量檢驗(yàn)方法的檢測(cè)限和標(biāo)準(zhǔn)樣品的規(guī)定(GB/T14600-1993的4.4、4.5、4.6、4.7、4.8,本版的4.5、4.6、4.7、4.8);
---修改水分含量的檢驗(yàn)方法(GB/T14600-1993的4.7,本版的4.11);
---修改標(biāo)志、包裝、貯運(yùn)及安全(GB/T14600-1993的第6章、第7章,本版的第5章)。
本標(biāo)準(zhǔn)由全國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)提出。
本標(biāo)準(zhǔn)由全國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)氣體分技術(shù)委員會(huì)歸口。
本標(biāo)準(zhǔn)起草單位:中國(guó)計(jì)量科學(xué)研究院、西南化工研究設(shè)計(jì)院、大連光明化工研究院。
本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人:周澤義、孫福楠、周鵬云。
本標(biāo)準(zhǔn)所代替標(biāo)準(zhǔn)的歷次版本發(fā)布情況為:
---GB/T14600-1993。

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