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臥式液相外延系統(tǒng)通用規(guī)范 現(xiàn)行

Generic specification for horizontal liquid phase epitaxial system

標(biāo)準(zhǔn)號(hào)：SJ/T 11275-2002

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基本信息

標(biāo)準(zhǔn)號(hào)：SJ/T 11275-2002
發(fā)布時(shí)間：2002-10-30
實(shí)施時(shí)間：2003-03-01
首發(fā)日期：
出版單位：工業(yè)電子出版社查看詳情>
起草人：
出版機(jī)構(gòu)：工業(yè)電子出版社
標(biāo)準(zhǔn)分類： 電子設(shè)備用絕緣零件
ICS分類：特殊工作條件用電氣設(shè)備
起草單位：中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第四十八所

標(biāo)準(zhǔn)簡(jiǎn)介

本規(guī)范規(guī)定了臥式液相外延系統(tǒng)的術(shù)語(yǔ)、產(chǎn)品型號(hào)及命名方法、技術(shù)要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則以及包裝、運(yùn)輸、貯存。本規(guī)范適用于電子行業(yè)光電子器件研制、生產(chǎn)工藝中的臥式液相外延系統(tǒng)。其他行業(yè)的類似設(shè)備亦可參照?qǐng)?zhí)行。

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