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電子工業(yè)用氣體 氬 現(xiàn)行

Gas for electronic industry—Argon

標(biāo)準(zhǔn)號(hào)：GB/T 16945-2009

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基本信息

標(biāo)準(zhǔn)號(hào)：GB/T 16945-2009
發(fā)布時(shí)間：2009-10-30
實(shí)施時(shí)間：2010-05-01
首發(fā)日期：1997-08-13
出版單位：中國(guó)標(biāo)準(zhǔn)出版社查看詳情>
起草人：趙俊秀、周鵬云
出版機(jī)構(gòu)：中國(guó)標(biāo)準(zhǔn)出版社
標(biāo)準(zhǔn)分類： 工業(yè)氣體與化學(xué)氣體
ICS分類：工業(yè)氣體
提出單位：全國(guó)半導(dǎo)體材料和設(shè)備標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)
起草單位：北京氦普北分氣體工業(yè)有限公司、西南化工研究設(shè)計(jì)院
歸口單位：全國(guó)半導(dǎo)體材料和設(shè)備標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)氣體分會(huì)
發(fā)布部門：中華人民共和國(guó)國(guó)家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局 中國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)
主管部門：國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)

標(biāo)準(zhǔn)簡(jiǎn)介

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了氬的技術(shù)要求,試驗(yàn)方法以及包裝、標(biāo)志、貯運(yùn)及安全。本標(biāo)準(zhǔn)適用于以深冷法從空氣、合成氨尾氣中提取的液態(tài)和氣態(tài)氬以及經(jīng)純化方法得到的氬。氬用于系統(tǒng)的吹掃、保護(hù)和增壓,它還可以用于化學(xué)汽相淀積、濺射、等離子及活性離子刻蝕劑和退火等不同工藝中。

標(biāo)準(zhǔn)摘要

本標(biāo)準(zhǔn)代替GB/T16945-1997《電子工業(yè)用氣體 氬》。
本標(biāo)準(zhǔn)與GB/T16945-1997相比主要變化如下:
---修改氬的適用范圍(GB/T16945-1997的第1章,本版的第1章);
---增加規(guī)范性引用文件(GB/T16945-1997的第2章,本版的第2章);
---修改技術(shù)指標(biāo)內(nèi)容:增加一類純度和雜質(zhì)含量(GB/T16945-1997的第3章,本版的第3章);
---修改瓶裝氬抽樣方法(GB/T16945-1997的4.1.1,本版的4.1.1);
---增加集裝閣裝、大容積鋼質(zhì)無(wú)縫氣瓶和杜瓦罐裝氬產(chǎn)品并規(guī)定檢驗(yàn)方法(見4.1.1);
---修改管道輸送的氬抽樣方法(GB/T16945-1997的4.1.1,本版的4.1.2);
---增加氬的采樣安全要求(見4.1.3);
---修改氫、氧、氮、一氧化碳和二氧化碳的測(cè)定方法(GB/T16945-1997的4.3、4.4、4.5,本版的4.3);
---增加其他方法測(cè)定總烴;當(dāng)出現(xiàn)多種分析方法時(shí),增加規(guī)定仲裁方法(見4.3、4.4、4.5);
---修改水分的測(cè)定方法(GB/T16945-1997的4.7,本版的4.5);
---修改標(biāo)志、包裝、貯運(yùn)及安全(GB/T16945-1997的第5章,本版的第5章)。
本標(biāo)準(zhǔn)由全國(guó)半導(dǎo)體材料和設(shè)備標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)提出。
本標(biāo)準(zhǔn)由全國(guó)半導(dǎo)體材料和設(shè)備標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)氣體分會(huì)歸口。
本標(biāo)準(zhǔn)起草單位:北京氦普北分氣體工業(yè)有限公司、西南化工研究設(shè)計(jì)院。
本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人:趙俊秀、周鵬云。
本標(biāo)準(zhǔn)所代替標(biāo)準(zhǔn)的歷次版本發(fā)布情況為:
---GB/T16945-1997。

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