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硅片直徑測量方法 光學投影法
硅片直徑測量方法 光學投影法 已作廢
Silicon slices and wafers-Measuring of diameter-Optical projecting method
標準號：GB/T 14140.1-1993
基本信息
標準號：GB/T 14140.1-1993
發布時間：1993-02-06
實施時間：1993-10-01
首發日期：1993-02-06
起草人：
作廢日期：2010-06-01
標準分類： 半金屬
ICS分類：金屬材料試驗綜合
起草單位：洛陽單晶硅廠
歸口單位：全國半導體材料和設備標準化技術委員會
發布部門：國家技術監督局
主管部門：國家標準化管理委員會
標準簡介
本標準規定了用光學投影儀測量硅片直徑的方法。本標準適用于測量圓形硅片的直徑。測量范圍為聲φ40～φ100mm本標準不適用于測量硅片的不圓度。本標準用作仲裁測量方法。
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