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表面化學(xué)分析 中等分辨俄歇電子能譜儀 元素分析用能量標(biāo)校準(zhǔn) 即將實(shí)施

Surface chemical analysis—Medium resolution auger electron spectrometers—Calibration of energy scales for elemental analysis

標(biāo)準(zhǔn)號(hào)：GB/T 29732-2021

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基本信息

標(biāo)準(zhǔn)號(hào)：GB/T 29732-2021
發(fā)布時(shí)間：2021-12-31
實(shí)施時(shí)間：2022-07-01
首發(fā)日期：
出版單位：中國(guó)標(biāo)準(zhǔn)出版社查看詳情>
起草人：姚文清、楊立平、徐同廣、王雅君、段建霞、李展平
出版機(jī)構(gòu)：中國(guó)標(biāo)準(zhǔn)出版社
標(biāo)準(zhǔn)分類： 基礎(chǔ)標(biāo)準(zhǔn)與通用方法
ICS分類：化學(xué)分析
提出單位：全國(guó)微束分析標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)(SAC/TC 38)
起草單位：清華大學(xué)、中國(guó)石油大學(xué)(北京)
歸口單位：全國(guó)微束分析標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)(SAC/TC 38)
發(fā)布部門：國(guó)家市場(chǎng)監(jiān)督管理總局 國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)

標(biāo)準(zhǔn)簡(jiǎn)介

本文件規(guī)定了俄歇電子能譜儀動(dòng)能能量標(biāo)不確定度為3 eV時(shí)的校準(zhǔn)方法，用于識(shí)別表面常規(guī)元素。另外，本文件還規(guī)定了一種用于確定校準(zhǔn)周期的方法。本文件適用于直接模式或微分模式的儀器分辨率小于或等于0.5%，微分模式調(diào)制幅度的峰值為 ?2 eV?，配有惰性氣體離子槍或其他樣品清潔方法，具有4 keV或更高束能電子槍的譜儀。

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