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圓形石英玻璃光掩模基板規(guī)范 現(xiàn)行

Specification for round quartz photomask substrates

標(biāo)準(zhǔn)號(hào)：GB/T 16523-1996

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基本信息

標(biāo)準(zhǔn)號(hào)：GB/T 16523-1996
發(fā)布時(shí)間：1996-09-09
實(shí)施時(shí)間：1997-05-01
首發(fā)日期：1996-09-09
出版單位：中國標(biāo)準(zhǔn)出版社查看詳情>
起草人：
出版機(jī)構(gòu)：中國標(biāo)準(zhǔn)出版社
標(biāo)準(zhǔn)分類： 電子技術(shù)專用材料
ICS分類：集成電路、微電子學(xué)
起草單位：長沙韶光微電子總公司
歸口單位：全國半導(dǎo)體材料和設(shè)備標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)
發(fā)布部門：國家技術(shù)監(jiān)督局
主管部門：國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)

標(biāo)準(zhǔn)簡介

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了圓形石英玻璃光掩模基板的技術(shù)要求、試驗(yàn)方法等內(nèi)容。本標(biāo)準(zhǔn)適用于圓形石英玻璃光掩模基板。

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