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電子工業(yè)用氣體 硅烷(SiH4) 已作廢

Gas for electronic industry－Silane

標(biāo)準(zhǔn)號(hào)：GB/T 15909-1995

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基本信息

標(biāo)準(zhǔn)號(hào)：GB/T 15909-1995
發(fā)布時(shí)間：1995-01-02
實(shí)施時(shí)間：1996-08-01
首發(fā)日期：1995-12-20
出版單位：中國標(biāo)準(zhǔn)出版社查看詳情>
起草人：
作廢日期：2010-05-01
出版機(jī)構(gòu)：中國標(biāo)準(zhǔn)出版社
標(biāo)準(zhǔn)分類： 工業(yè)氣體與化學(xué)氣體
ICS分類：工業(yè)氣體
起草單位：化工部西南化工研究院
歸口單位：全國半導(dǎo)體材料和設(shè)備標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)
發(fā)布部門：國家技術(shù)監(jiān)督局
主管部門：國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)

標(biāo)準(zhǔn)簡介

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了電子工業(yè)用硅烷氣體的技術(shù)要求、檢驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則、包裝、標(biāo)志、運(yùn)輸、貯存和安全要求等。本標(biāo)準(zhǔn)主要用于電子工業(yè)中多晶硅和單晶硅外延淀積、二氧化硅的低溫化學(xué)汽相淀積、非晶硅薄膜淀積等。

替代情況

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