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決絕緣砷化鎵單晶微區(qū)均勻性測(cè)試方法

Test method for microzone homogeneity of semi-insulating monocrystal gallium arsenide
標(biāo)準(zhǔn)號(hào):SJ 20844-2002
基本信息
標(biāo)準(zhǔn)號(hào):SJ 20844-2002
發(fā)布時(shí)間:2002-10-30
實(shí)施時(shí)間:2003-03-01
首發(fā)日期:
出版單位:工業(yè)電子出版社查看詳情>
起草人:
出版機(jī)構(gòu):工業(yè)電子出版社
標(biāo)準(zhǔn)分類: 電子技術(shù)專用材料
起草單位:中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第四十六所
標(biāo)準(zhǔn)簡(jiǎn)介
本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了半絕緣砷化鎵晶片中電阻率、碳濃度、EL2濃度和PL譜微區(qū)均勻性測(cè)量方法。本標(biāo)準(zhǔn)適用于半絕緣砷化鎵晶片中電阻率、碳濃度、EL2濃度和PL譜微區(qū)均勻性的測(cè)試。
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