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液封直拉法砷化鎵單晶及切割片

Liquid encapsulated czochralski-grown gallium arsenide single crystals and as-cut slices
標準號:GB/T 11093-2007
基本信息
標準號:GB/T 11093-2007
發布時間:2007-12-18
實施時間:2008-02-01
首發日期:1989-03-31
出版單位:中國標準出版社查看詳情>
起草人:張峰翊、鄭安生
出版機構:中國標準出版社
標準分類: 化合物半導體材料
ICS分類:半導體材料
提出單位:國家標準化管理委員會
起草單位:北京有色金屬研究總院
歸口單位:全國半導體設備和材料標準化技術委員會材料分技術委員會
發布部門:中華人民共和國國家質量監督檢驗檢疫總局 中國國家標準化管理委員會
主管部門:國家標準化管理委員會
標準簡介
本標準規定了液封直拉法砷化鎵單晶及切割片的要求、試驗方法、檢驗規則和標志、包裝運輸貯存等。
標準摘要
本標準是對GB/T11093-1989《液封直拉法砷化鎵單晶及切割片》的修訂。 本標準與GB/T11093-1989相比,主要有如下變動: ---單晶和切割片的牌號按照GB/T14844《半導體材料牌號表示方法》進行了修訂; ---增加了76.2mm(3in)、100mm、125mm 和150mm 規格的產品; ---增加了摻入碳等雜質元素的產品; ---去掉了40mm 規格的產品; ---取消了按位錯密度對產品進行分級。 本標準自實施之日起,代替GB/T11093-1989。 本標準由中國有色金屬工業協會提出。 本標準由全國半導體設備和材料標準化技術委員會材料分技術委員會歸口。 本標準起草單位:北京有色金屬研究總院。 本標準主要起草人:張峰翊、鄭安生。 本標準所代替標準的歷次版本發布情況為: ---GB/T11093-1989。 |
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