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硅外延層和擴散層厚度測定 磨角染色法
基本信息
標準號：YS/T 15-2015
發布時間：2015-04-30
實施時間：2015-10-01
首發日期：
出版單位：中國標準出版社查看詳情>
起草人：
出版機構：中國標準出版社
標準分類： 金屬物理性能試驗方法
ICS分類：金屬材料試驗
發布部門：中華人民共和國工業和信息化部
標準簡介
本標準規定了測定硅外延層和擴散層厚度的磨角染色法。本標準適用于外延層和擴散層與襯底導電類型不同或兩層電阻率相差至少一個數量級的任意電阻率的硅外延層和擴散層厚度的測量，測量范圍：1μm～100μm。
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