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單晶硅生長用石英坩堝

基本信息
標準號:JC/T 1048-2018
發布時間:2018-10-22
實施時間:2019-04-01
首發日期:
出版單位:建材工業出版社查看詳情>
起草人:
出版機構:建材工業出版社
發布部門:工業和信息化部
標準簡介
本標準規定了單晶硅生長用石英坩堝的術語和定義、分類和標記、要求、試驗方法、檢驗規則及標志、包裝、運輸和貯存。本標準適用于用高純石英砂做原料,采用電弧法工藝生產,應用于直拉法生長單晶硅材料的石英坩堝。
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