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微束分析 薄晶體厚度的會聚束電子衍射測定方法
微束分析 薄晶體厚度的會聚束電子衍射測定方法 即將實施
Microbeam analysis—Method of thickness measurement for thin crystals by convergent beam electron diffraction
標準號：GB/T 20724-2021
基本信息
標準號：GB/T 20724-2021
發布時間：2021-12-31
實施時間：2022-07-01
首發日期：
出版單位：中國標準出版社查看詳情>
起草人：柳得櫓、婁艷芝
出版機構：中國標準出版社
標準分類： 電化學、熱化學、光學式分析儀器
ICS分類：有關化學分析方法的其他標準
提出單位：全國微束分析標準化技術委員會(SAC/TC 38)
起草單位：北京科技大學、中國航發北京航空材料研究院
歸口單位：全國微束分析標準化技術委員會(SAC/TC 38)
發布部門：國家市場監督管理總局 國家標準化管理委員會
標準簡介
本文件描述了用透射電子顯微鏡/掃描透射電子顯微鏡測定薄晶體試樣厚度的會聚束電子衍射方法。本文件適用于測定線度為幾十納米至幾百微米、厚度在幾十納米至幾百納米范圍內的薄晶體試樣厚度。注： 由于透射電子顯微鏡薄試樣的厚度往往不均勻，用會聚束衍射方法測定的是試樣被電子束照明區的局域厚度。
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