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電子級水中痕量金屬的原子吸收分光光度測試方法

Test method for measuring trace metals in electronic grade water by atomic absorption spectrophotometry
標準號:GB/T 11446.5-2013
基本信息
標準號:GB/T 11446.5-2013
發(fā)布時間:2013-12-31
實施時間:2014-08-15
首發(fā)日期:
出版單位:中國標準出版社查看詳情>
起草人:褚連青、王奕、何秀坤、段曙光、提劉旺、劉筠
出版機構(gòu):中國標準出版社
標準分類: 電子技術專用材料
ICS分類:
31-030
提出單位:中華人民共和國工業(yè)和信息化部
起草單位:信息產(chǎn)業(yè)部專用材料質(zhì)量監(jiān)督檢驗中心、中國科學院半導體研究所、中國電子技術標準化研究院、中國電子科技集團公司第四十六研究所
歸口單位:中國電子技術標準化研究院
發(fā)布部門:中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫總局 中國國家標準化管理委員會
主管部門:中國電子技術標準化研究院
標準簡介
GB/T11446的本部分規(guī)定了無火焰(或火焰)原子吸收分光光度計測定電子級水中痕量金屬銅、鋅、鎳、鐵、鉛、鈉和鉀的測試方法。也可使用靈敏度相當?shù)钠渌麅x器如電感耦合等離子體/質(zhì)譜儀(或電感耦合等離子體發(fā)射光譜儀)測量。無火焰原子吸收分光光度適用于EW-Ⅰ~EW-Ⅲ級電子級水中痕量金屬的測定。方法的檢出限(質(zhì)量分數(shù))應在1×10-9以下。火焰原子吸收分光光度法適用于EW-Ⅳ電子級水中痕量金屬的測定。
標準摘要
GB/T11446預計結(jié)構(gòu)如下: ———GB/T11446.1 電子級水; ———GB/T11446.2 (待定); ———GB/T11446.3 電子級水測試方法通則; ———GB/T11446.4 電子級水電阻率的測試方法; ———GB/T11446.5 電子級水中痕量金屬的原子吸收分光光度測試方法; ———GB/T11446.6 電子級水中二氧化硅的分光光度測試方法; ———GB/T11446.7 電子級水中痕量陰離子的離子色譜測試方法; ———GB/T11446.8 電子級水中總有機碳的測試方法; ———GB/T11446.9 電子級水中微粒的儀器測試方法; ———GB/T11446.10 電子級水中細菌總數(shù)的濾膜培養(yǎng)測試方法。 本部分為GB/T11446的第5部分。 本部分按照GB/T1.1—2009給出的規(guī)則起草。 本部分代替GB/T11446.5—1997《電子級水中痕量金屬的原子吸收分光光度測試方法》。 本部分與GB/T11446.5—1997相比,主要有下列變化: ———“1范圍”中增加了用無火焰(或火焰)原子吸收分光光度計測定電子級水中痕量金屬鐵、鉛的測試方法的規(guī)定;規(guī)定了“也可使用靈敏度相當?shù)钠渌麅x器如電感耦合等離子體/質(zhì)譜儀(或電感耦合等離子體發(fā)射光譜儀)”(見第1章); ———標準中增加了用無火焰(或火焰)原子吸收分光光度計測定電子級水中痕量金屬鐵、鉛的測試方法; ———增加了“3術語和定義”(見第3章); ———增加了“5干擾因素”(見第5章); ———刪除了“9注意事項”(1997年版的第9章)。 本部分由中華人民共和國工業(yè)和信息化部提出。 本部分由中國電子技術標準化研究院歸口。 本部分起草單位:信息產(chǎn)業(yè)部專用材料質(zhì)量監(jiān)督檢驗中心、中國科學院半導體研究所、中國電子技術標準化研究院、中國電子科技集團公司第四十六研究所。 本部分主要起草人:褚連青、王奕、何秀坤、段曙光、提劉旺、劉筠。 本部分所代替標準的歷次版本發(fā)布情況為: ———GB/T11446.5—1989、GB/T11446.5—1997。 |
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