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半導體設(shè)施接口技術(shù)文件編寫導則現(xiàn)行

Directives for drafting semiconductor facilities interface specification

標準號：GB/T 15873-1995

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基本信息

標準號：GB/T 15873-1995

發(fā)布時間：1995-01-02

實施時間：1996-08-01

首發(fā)日期：1995-12-22

出版單位：中國標準出版社查看詳情>

起草人：

出版機構(gòu)：中國標準出版社

標準分類：加工專用設(shè)備

ICS分類：插頭和插座裝置、連接器

起草單位：中國華晶電子集團公司

歸口單位：信息產(chǎn)業(yè)部（電子）

發(fā)布部門：國家技術(shù)監(jiān)督局

主管部門：信息產(chǎn)業(yè)部（電子）

標準簡介

本標準規(guī)定了半導體設(shè)施接口技術(shù)文件編寫的基本要求和格式。本標準適用于半導體設(shè)施的設(shè)計、施工、供應、管理、培訓及使用。

替代情況

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引用標準

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本標準相關(guān)公告

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采標情況

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