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電子工業用氣體 四氟化硅 現行

Gases for electronic industry—Silicon tetrafluoride

標準號：GB/T 31058-2014

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基本信息

標準號：GB/T 31058-2014
發布時間：2014-12-22
實施時間：2015-07-01
首發日期：
出版單位：中國標準出版社查看詳情>
起草人：鄧建平、李于教、傅鑄紅、湯有倫、崔學文、方華、唐安江、周鵬云
出版機構：中國標準出版社
標準分類： 工業氣體與化學氣體
ICS分類：工業氣體
提出單位：全國半導體設備和材料標準化技術委員會(SAC/TC203)
起草單位：核工業理化工程研究院華核新技術開發公司、佛山市華特氣體有限公司、綠菱電子材料(天津)有限公司、上海華愛色譜分析技術有限公司、貴州大學、西南化工研究設計院有限公司
歸口單位：全國半導體設備和材料標準化技術委員會(SAC/TC203)
發布部門：中華人民共和國國家質量監督檢驗檢疫總局 中國國家標準化管理委員會
主管部門：國家標準化管理委員會

標準簡介

本標準規定了四氟化硅的技術要求、試驗方法、標志、包裝、運輸和貯存等內容。本標準適用于螢石硫酸法、六氟硅酸鹽熱分解法、單質硅直接氟化法制備的四氟化硅。它主要用作電子工業中等離子蝕刻、發光二極管 P形摻雜、離子注入工藝、外延沉積擴散的硅源和光導纖維用高純石英玻璃的原料,也是生產多晶硅的重要原料。分子式:SiF4。相對分子質量:104.0786128(按2009年國際原子相對質量)。

標準摘要

本標準按照 GB/T1.1—2009給出的規則起草。
本標準由全國半導體設備和材料標準化技術委員會(SAC/TC203)提出并歸口。
本標準起草單位:核工業理化工程研究院華核新技術開發公司、佛山市華特氣體有限公司、綠菱電子材料(天津)有限公司、上海華愛色譜分析技術有限公司、貴州大學、西南化工研究設計院有限公司。
本標準主要起草人:鄧建平、李于教、傅鑄紅、湯有倫、崔學文、方華、唐安江、周鵬云。

替代情況

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引用標準

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采標情況

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