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表面化學分析 深度剖析 濺射深度測量 現(xiàn)行

Surface chemical analysis—Depth Profiling—Measurment of sputtered depth

標準號:GB/T 29557-2013

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基本信息

標準號:GB/T 29557-2013
發(fā)布時間:2013-07-19
實施時間:2014-03-01
首發(fā)日期:
出版單位:中國標準出版社查看詳情>
起草人:陳建、張訓生、謝方艷、龔力、張衛(wèi)紅、盛世善。
出版機構:中國標準出版社
標準分類: 基礎標準與通用方法
ICS分類:化學分析
提出單位:全國微束標準化技術委員會(SAC/TC38)
起草單位:中山大學、浙江大學、中國科學院大連化學物理研究所。
歸口單位:全國微束標準化技術委員會(SAC/TC 38)
發(fā)布部門:中華人民共和國國家質量監(jiān)督檢驗檢疫總局 中國國家標準化管理委員會
主管部門:全國微束標準化技術委員會(SAC/TC 38)

標準簡介

本標準規(guī)定了濺射深度剖析中測量濺射深度的準則。本標準適用于結合離子轟擊剝離部分固體樣品的表面化學分析技術,通常濺射深度可達幾微米。

標準摘要

本標準按照GB/T1.1—2009給出的規(guī)則起草。
本標準使用翻譯法等同采用ISO/TR15969:2001《表面化學分析 深度剖析 濺射深度測量》。
本標準由全國微束標準化技術委員會(SAC/TC38)提出并歸口。
本標準負責起草單位:中山大學、浙江大學、中國科學院大連化學物理研究所。
本標準主要起草人:陳建、張訓生、謝方艷、龔力、張衛(wèi)紅、盛世善。

替代情況

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引用標準

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采標情況

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