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200mm硅外延片現行

200 mm silicon epitaxial wafer

標準號：GB/T 35310-2017

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基本信息

標準號：GB/T 35310-2017

發布時間：2017-12-29

實施時間：2018-07-01

首發日期：

出版單位：中國標準出版社查看詳情>

起草人：馬林寶、駱紅、楊帆、金龍、楊素心

出版機構：中國標準出版社

標準分類：元素半導體材料

ICS分類：半導體材料

提出單位：全國半導體設備和材料標準化技術委員會(SAC/TC 203)、全國半導體設備和材料標準化技術委員會材料分技術委員會(SAC/TC 203/SC 2)

起草單位：南京國盛電子有限公司、有色金屬技術經濟研究院

歸口單位：全國半導體設備和材料標準化技術委員會(SAC/TC 203)、全國半導體設備和材料標準化技術委員會材料分技術委員會(SAC/TC 203/SC 2)

發布部門：中華人民共和國國家質量監督檢驗檢疫總局中國國家標準化管理委員會

主管部門：國家標準化管理委員會

標準簡介

本標準規定了直徑200mm硅外延片的術語和定義、產品分類、要求、試驗方法、檢驗規則以及標志、包裝、運輸、貯存、質量證明書等。本標準適用于在N型和P型硅拋光襯底片上外延生長的硅外延片。產品主要用于制作集成電路或半導體器件。

替代情況

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引用標準

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采標情況

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