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玻璃襯底上納米薄膜厚度測量 觸針式輪廓儀法
玻璃襯底上納米薄膜厚度測量 觸針式輪廓儀法 現行
Measurement of nanofilm thickness on glass substrate —Profilometric method
標準號：GB/T 33826-2017
基本信息
標準號：GB/T 33826-2017
發布時間：2017-05-31
實施時間：2017-12-01
首發日期：
出版單位：中國標準出版社查看詳情>
起草人：孟政、劉靜、候英蘭、徐勇、戴石鋒、汪洪、梁慧超、張繼軍、張慶華、代錚、張衛星、趙晉武、郎巖梅
出版機構：中國標準出版社
標準分類： 工業技術玻璃
ICS分類：有關化學分析方法的其他標準
提出單位：中國科學院
起草單位：中國建筑材料科學研究總院、漳州旗濱玻璃有限公司、宣城晶瑞新材料有限公司、冶金工業信息標準研究院
歸口單位：全國納米技術標準化技術委員會納米材料分技術委員會(SAC/TC 279/SC 1)
發布部門：中華人民共和國國家質量監督檢驗檢疫總局 中國國家標準化管理委員會
主管部門：全國納米技術標準化技術委員會納米材料分技術委員會(SAC/TC 279/SC 1)
標準簡介
本標準規定了用觸針式輪廓儀法測量玻璃襯底上納米薄膜厚度的原理、儀器要求、試驗環境、要求、步驟及測試報告等。?本標準適用于玻璃襯底上厚度在10 nm～1 000 nm范圍內的納米薄膜厚度測量，且薄膜與襯底之間存在或可刻蝕出臺階。其他硬質平面襯底可參考本標準執行。
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