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酸浸取 電感耦合等離子質(zhì)譜儀測定多晶硅表面金屬雜質(zhì)

Test method for measuring surface metal contamination of polycrystalline silicon by acid extraction-inductively coupled plasma mass spectrometry
標(biāo)準(zhǔn)號:GB/T 24582-2009
基本信息
標(biāo)準(zhǔn)號:GB/T 24582-2009
發(fā)布時間:2009-10-30
實(shí)施時間:2010-06-01
首發(fā)日期:2009-10-30
出版單位:中國標(biāo)準(zhǔn)出版社查看詳情>
起草人:王波、過惠芬、吳道榮、梁洪、敖細(xì)平
出版機(jī)構(gòu):中國標(biāo)準(zhǔn)出版社
標(biāo)準(zhǔn)分類: 半金屬與半導(dǎo)體材料綜合
ICS分類:半導(dǎo)體材料
提出單位:全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(SAC/TC 203)
起草單位:新光硅業(yè)科技責(zé)任有限公司
歸口單位:全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(SAC/TC 203)
發(fā)布部門:中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫總局 中國國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會
主管部門:全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(SAC/TC 203)
標(biāo)準(zhǔn)簡介
本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了用酸從多晶硅塊表面浸取金屬雜質(zhì),并用電感耦合等離子質(zhì)譜儀定量檢測多晶硅表面上的金屬雜質(zhì)痕量分析方法。 本標(biāo)準(zhǔn)適用于堿金屬、堿土金屬和第一系列過渡元素如鈉、鉀、鈣、鐵、鎳、銅、鋅以及其他元素如鋁的檢測。本標(biāo)準(zhǔn)適用于各種棒、塊、粒、片狀多晶表面金屬污染物的檢測。由于塊、片或粒形狀不規(guī)則,面積很難準(zhǔn)確測定,故根據(jù)樣品重量計算結(jié)果,使用的樣品重量為50g~300g,檢測限為0.01ng/mL。
標(biāo)準(zhǔn)摘要
本標(biāo)準(zhǔn)由全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(SAC/TC203)提出并歸口。 本標(biāo)準(zhǔn)負(fù)責(zé)起草單位:新光硅業(yè)科技責(zé)任有限公司。 本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人:王波、過惠芬、吳道榮、梁洪、敖細(xì)平。 |
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