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硅外延片 現行

Silicon epitaxial wafers

標準號:GB/T 14139-2019

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基本信息

標準號:GB/T 14139-2019
發布時間:2019-06-04
實施時間:2020-05-01
首發日期:
出版單位:中國標準出版社查看詳情>
起草人:張海英、李慎重、蔣玉龍、駱紅、胡金枝、盧立延、李素青
出版機構:中國標準出版社
標準分類: 元素半導體材料
ICS分類:半導體材料
提出單位:全國半導體設備和材料標準化技術委員會(SAC/TC 203)、全國半導體設備和材料標準化技術委員會材料分技術委員會(SAC/TC 203/SC 2)
起草單位:浙江金瑞泓科技股份有限公司、南京國盛電子有限公司、上海合晶硅材料有限公司、有色金屬技術經濟研究院、有研半導體材料有限公司
歸口單位:全國半導體設備和材料標準化技術委員會(SAC/TC 203)、全國半導體設備和材料標準化技術委員會材料分技術委員會(SAC/TC 203/SC 2)
發布部門:國家市場監督管理總局 國家標準化管理委員會
主管部門:全國半導體設備和材料標準化技術委員會(SAC/TC 203)、全國半導體設備和材料標準化技術委員會材料分技術委員

標準簡介

本標準規定了硅外延片的牌號和分類、要求、試驗方法、檢驗規則、標志、包裝、運輸、貯存、質量證明書和訂貨單(或合同)內容。 本標準適用于在直徑不大于150 mm的N型和P型硅拋光片襯底上生長的硅外延片。

替代情況

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引用標準

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本標準相關公告

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采標情況

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