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焦深與最佳聚焦的測量規范
焦深與最佳聚焦的測量規范 現行
Specification for measuring depth of focus and best focus
標準號：GB/T 17865-1999
基本信息
標準號：GB/T 17865-1999
發布時間：1999-09-01
實施時間：2000-06-01
首發日期：1999-09-13
出版單位：中國標準出版社查看詳情>
起草人：陳寶欽、陳森錦、廖溫初、劉明
出版機構：中國標準出版社
標準分類： 半導體集成電路
ICS分類：集成電路、微電子學
提出單位：中國科學院
起草單位：中國科學院微電子中心
歸口單位：SEMI中國標準化技術委員會
發布部門：國家質量技術監督局
主管部門：國家標準化管理委員會
標準簡介
本標準只涉及集成電路生產中所用的光刻技術及其關系密切的技術的聚集與焦深測量問題。由于設備技術多種多樣，因而不可能提出這些參數的明確測量方法。本標準只提供基本準則。
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