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集成電路制造設備術語
集成電路制造設備術語 即將實施
Terminology for integrated circuit(IC) manufacturing equipment
標準號：GB/T 40577-2021
基本信息
標準號：GB/T 40577-2021
發布時間：2021-10-11
實施時間：2022-05-01
首發日期：
出版單位：中國標準出版社查看詳情>
起草人：張軍華、馮亞彬、曹可慰、曹建偉、裴會川、朱亮、周哲、武小娟、杜若昕、唐彩紅、丁曉民、傅林堅、魏唯、田濤、劉英斌、李國平、王宏智
出版機構：中國標準出版社
標準分類： 電子工業生產設備綜合
ICS分類：電子電信設備用機電零部件
提出單位：全國半導體設備和材料標準化技術委員會(SAC/TC 203)
起草單位：中國電子技術標準化研究院、浙江晶盛機電股份有限公司、中電科電子裝備集團有限公司、北京北方華創微電子裝備有限公司、中微半導體設備(上海)股份有限公司、上海微電子裝備(集團)股份有限公司、東莞市中鎵半導體科技有限公司、江蘇卓遠半導體有限公司
歸口單位：全國半導體設備和材料標準化技術委員會(SAC/TC 203)
發布部門：國家市場監督管理總局 國家標準化管理委員會
標準簡介
本文件規定了集成電路（IC)制造設備的基本和常用術語，包括基礎術語，晶體生長加工設備、掩模制造設備、光刻與刻蝕設備、摻雜設備、薄膜淀積設備、清洗設備、封裝設備、檢測設備的術語及公用部件術語。本文件適用于集成電路制造設備的設計開發、生產和應用，也適用于集成電路制造設備的科研、教學和出版工作。
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