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Semiconductor Devices - Micro-Electromechanical Devices - Part 21: Test Method For Poisson's Ratio Of Thin Film Mems Materials (Iec 62047-21:2014)
出版:Osterreichisches Normungsinstitut

專(zhuān)家解讀視頻
基本信息
標(biāo)準(zhǔn)編號(hào): OVE/ONORM EN 62047-21:2015
發(fā)布時(shí)間:2015/6/1 0:00:00
標(biāo)準(zhǔn)類(lèi)別:Standard
出版單位:Osterreichisches Normungsinstitut
標(biāo)準(zhǔn)頁(yè)數(shù):18
標(biāo)準(zhǔn)簡(jiǎn)介
2015 [01/06/2015]
等同采用的國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)
EN 62047-21:2014 - Identical