SEMI E143:2006(R2024)現(xiàn)行

Test Method for Measuring Power and Variation into a 50-Ω Load and Power Variation and Spectrum into a Load with a VSWR of 2.0 at any phase Angle

出版：Semiconductor Equipment & Materials Institute

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基本信息

標(biāo)準(zhǔn)編號： SEMI E143:2006(R2024)

標(biāo)準(zhǔn)類別：Test Method

出版單位：Semiconductor Equipment & Materials Institute

標(biāo)準(zhǔn)頁數(shù)：0

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