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ASTM F1238-95(2011)現行

Standard Specification for Refractory Silicide Sputtering Targets for Microelectronic Applications

出版：American Society for Testing and Materials

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基本信息

標準編號： ASTM F1238-95(2011)

發布時間：2011/6/1 0:00:00

標準類別：Standard

出版單位：American Society for Testing and Materials

標準頁數：3

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