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SEMI F117:2021現行

Specification for Dimensions of Sandwich Components for 1.125 Inch Type Surface Mount Gas Distribution Systems

出版：Semiconductor Equipment & Materials Institute

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基本信息
標準編號： SEMI F117:2021
標準類別：Standard
出版單位：Semiconductor Equipment & Materials Institute
標準頁數：0
標準簡介

This Standard establishes the physical dimensions of filters, check valves, restrictors, port converters and other components for 1.125 inch type surface mount gas distribution systems.

本標準替代的舊標準

SEMI C88 : 2015