DIN EN ISO 14644-10 (2013-06)現行

Cleanrooms and associated controlled environments Part 10: Classification of surface cleanliness by chemical concentration (ISO 14644-10:2013)

出版：German Institute for Standardisation (Deutsches Institut für Normung)

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基本信息

標準編號： DIN EN ISO 14644-10 (2013-06)

發布時間：2013/6/1 0:00:00

標準類別：Standard

出版單位：German Institute for Standardisation (Deutsches Institut für Normung)

標準頁數：40

本標準替代的舊標準

DIN EN ISO 14644-10 (2011-06)

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