SEMI F118:2021現(xiàn)行

Test Method for Determination of Moisture Dry-Down Characteristics of Gas Delivery Components

出版：Semiconductor Equipment & Materials Institute

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基本信息

標準編號： SEMI F118:2021

標準類別：Test Method

出版單位：Semiconductor Equipment & Materials Institute

標準頁數(shù)：0

標準簡介

This Test Method describes the procedure for determination of the moisture dry-down characteristics of components used in gas delivery systems.

本標準替代的舊標準

SEMI C91 : 2015

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